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スパッタDC電源　TOKUDA　SPS-2HSDC
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アネルバ　PDC-017E
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　1.5kW
　シリアルＮｏ．X89 9011
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　DELTA MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　M/N　3152011-070A
　S/N　50148　F/R　A
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　M/N　2012-000-N
　S/N　14545
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　M/N　2011-056-N
　S/N　32048
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　M/N　3152011-054H
　S/N　52978　F/R　H
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アドバンスドエナジー　MDX-5K
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　M/N　3152011-054H
　S/N　52909　F/R　H
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタRF電源　アネルバ　PRF-065B
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　0.6kW
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アネルバ　PDC-017E
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　1.5ｋW
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アネルバ（ANELVA）　PDC-057B
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　　写真下段
　　4.5kW
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　アネルバ（ANELVA）　PDC-057
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　写真上段
　4.5kW
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　ENI　DCG-100
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　スパッタ用　5kW　最大電圧800V
　サイズ　482×631×133mm
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

スパッタDC電源　ENI　DCG-100
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　スパッタ用　5kW　最大電圧800V
　サイズ　482×631×133mm
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

RF電源
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　マッチングボックス、ケーブル込
　動作確認済
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スパッタ電源　DC電源　RF電源

DC電源　ENI　RPG-50
【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------

　
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RF電源　アルバック（ULVAC）　RFS-05C
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