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超高真空装置	アネルバ（ANELVA）小型排気装置センサ封止装置　アネルバ（ANELVA）	真空チャンバー

	到達真空度　10-7Pa台　【付属品】　ばら売り可　複数台有　ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-303M（排気量：320L/s）　イオンポンプ　アネルバ　912-7125（20L/S）　ロータリーポンプ　アルカテル　M2015SD（排気量：250L/s）　電離真空計　アネルバ　M-922HG 　ピラニーゲージ　アネルバ　MPG-11 　仕様・図面詳細はこちらをクリック	直径1000mm　胴長1000mm　小型チャンバー（前室）ゲート弁付