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真空チャンバー

   
 到達真空度 10-7Pa台
 【付属品】 ばら売り可 複数台有
 ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-303M(排気量:320L/s)
 イオンポンプ アネルバ 912-7125(20L/S)
 ロータリーポンプ アルカテル M2015SD(排気量:250L/s)
 電離真空計 アネルバ M-922HG
 ピラニーゲージ アネルバ MPG-11
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直径1000mm 胴長1000mm 小型チャンバー(前室)ゲート弁付

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