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管理番号 機器名称 メーカー モデル番号 製造番号 年式 仕様 価格 円
B122668 スパッタ装置 アネルバ SPF730 15,000,000
A100221 スパッタ装置 アネルバ SPF730H 8,000,000
C011319 RIE アネルバ L-507D-L 7,000,000
A100222 スパッタ装置 アネルバ SPF720H 7,000,000
B080503 リフトオフ用EB蒸着装置 昭和真空 SEC-22CM 7,000,000
B091001 ICPエッチャー STS 6,000,000
B072102 マスクアライナー キャノン(canon) PLA-521FA 5インチ仕様(マスク6インチ) 5,500,000
9052901 ICPエッチング装置 SAMCO ICP-101LC 5,000,000
A112101 垂直蒸着装置 昭和真空 SEC-0502C 昭和真空 本体 W 2255 D 2255 H 2429 昭和真空 制御盤 W 565 D 1020 H 2140 JEOL コントローラー W 570 D 760 H 1545 5,000,000
B040501 プラズマプロセスモニター ファイファー(PFEIFFER) PPM422 4,500,000
B072101 マスクアライナー キャノン(canon) PLA-501FA 4インチ仕様(5インチ仕様欠品あり) 4,500,000
9102401 プローバー用チラー 4,500,000
C011316 バックグラインダー ディスコ DFG840HS 4,000,000
B101801 振動試験機 エスペック EVL05-6-6 2001 3,500,000
B060406 高精度微細形状測定器 小坂研究所 ET4000LK31 3,000,000
A021216 マスクアライナー キャノン(canon) PLA-521FA 4インチ 3,000,000
C010498 マスクアライナー キャノン PLA501S 3,000,000
9100119 マスクアライナー キャノン(canon) PLA-501F ジャンク品 部品取用 3,000,000
9062914 エッチング装置 ULVAC アルバック VA2000 3,000,000
B080502 EB蒸着装置 昭和真空 SEC-10SA-C 3,000,000
B091602 EB蒸着装置(EB-2) アネルバ(anelva) EVC-1501 クライオポンプ cap-120 3,000,000
9082002 スパッタ装置 アネルバ SPF-530H シャッター回転機構故障 3,000,000
B091607 電子ビーム蒸着装置(EB-3) アネルバ(anelva) EVC-400B 3,000,000
9100901 MRCスパッタ MRC 3,000,000
B032404 フリップチップボンダー NECマシナリー CPM-7500 DBL0109 2004.01 ORDER No.20-7664 200V 1φ 60Hz 4kVA Air:0.5MPa VACUUM:-66.7kPa HEATER:200V1 3KVA 3,000,000
C010417 クリーンオーブン エスペック HTC-90B 2007 3,000,000
B091002 磁場中熱処理炉 フューテックファーネス FM5-4000NV 3,000,000
B051501 エネルギー分散型微小蛍光X線分析装置 島津製作所 μEDX-1300 仕様PDF有 2,500,000
C011318 RIE P-5000 2,500,000
C010416 クリーンオーブン エスペック HTC-90B 2001 2,500,000
B122705 熱衝撃試験機 エスペック(ESPEC) TSA-101L-A 2006 2,200,000
C010486 熱衝撃試験機 エスペック TSA-101L-A 2006 2,200,000
B091631 X線格子定数測定装置 リガク Rint-2000 2,000,000
B091003 顕微鏡 オリンパス AL1000 2,000,000
B091026 顕微鏡 オリンパス AL1000 2,000,000
C011317 ステッパー ニコン G6 2,000,000
9052906 ナノインデンタ ToyoTech NANOSCOPE3A 2,000,000
A063001 ロールコーター 2,000,000
8041203 紫外線照射装置 アイグラフィックス OCT-6000926-D 2,000,000
A011607 ウェット洗浄機 SSEC M200 2,000,000
B122669 超高真空装置(ミニAIO 2号機) 2,000,000
A072502 巻き替え機 伸興 20065 2,000,000
A072503 巻き替え機 伸興 20065 2,000,000
A072504 巻き替え機 伸興 20065 2,000,000
A072505 巻き替え機 伸興 20065 2,000,000
B080501 減圧UVキュア装置 ウシオ電機 UMA-802-HCV59MY 2,000,000
A072501 蒸着機 昭和真空 SGC-8M2 1996 1,600,000
B122703 ナノクリエーター ホソカワミクロン FCM-MINI 1,500,000
B091201 真円度・円筒形状測定器 小坂研究所 EC-3200 1,500,000
B082701 CMP洗浄機 大日本スクリーン製造 SP-W813-AS 1,500,000
B092902 ダイシングソーDAD321NO3 DISCO DAD321 1,500,000
A011702 ドライエッチング アネルバ DEM-451T 1,500,000
B070502 大気開放型CVD装置 時田シーブイディーシステムズ 2001.9 1,500,000
A011317 封着排気装置の排気系 神鋼精機 1,500,000
B070501 スライド式真空ヒータープレス ミカドテクノス MKP-200TDWH 2000.6 プレス推力:30785N(0.5MPa時) 真空能力:1333KPa、 使用温度 150〜200℃(真空)、150〜250℃(大気) 真空チャンバー:内径 φ180mm 1,500,000
C010411 イナートオーブン 光洋 1,500,000
B122627 高温焼成炉 光洋 INH-21CD 1,500,000
B100127 Qマス アルバック 1,200,000
9100108 ミクロン厚さ測定器 ユニオン光学 THS-2 1,200,000
B122626 蛍光面輝度測定装置 1,200,000
A102505 偏向顕微鏡 オリンパス MHL320S OMH1616R 1,200,000
C011313 リフト装置 タカトリ AMR-2100 1,200,000
B122695 ドライポンプ 荏原製作所(EBARA) ESA300W 1,200,000
9121112 小型排気装置 センサ封止装置 アネルバ(ANELVA) EVP 2006.1 TMP 島津 TMP-303 (排気量:320L/s) 1,200,000
B122713 横型炉(ファーネス) フューテックファーネス QF1320-PXDS 2003 1,200,000
B122633 小型真空熱処理炉 フューテックファーネス K-A102HP 2003 1,200,000
B101805 熱衝撃試験機 エスペック TSA-71S-A 2001 1,200,000
A061725 エキステンドリフト容器反転投入機 1,200,000
A042807 アッシャー ブランソン P2100 1,000,000
9062941 CENTURA 除害装置(触媒式PFC分解装置) 日立ハイテクノロジーズ CD-120 1,000,000
9062908 除害装置(触媒式PFC分解装置) 日立ハイテクノロジーズ CD-120 1,000,000
A022601 RFスパッタ装置 ファースト技研 メインTMP故障中 要交換 自動での排気はできず、全てマニュアル操作 1,000,000
B080301 RIE アネルバ DEM-451 1,000,000
8030207 真空チャンバー 直径1000mm 2001 直径1m、胴長1m 1,000,000
B122692 ドライポンプ アルバック LR3600 1,000,000
B122693 ドライポンプ アルバック LR3600 1,000,000
B122694 ドライポンプ アルバック LR3600 1,000,000
B122698 ドライポンプ 荏原製作所(EBARA) ESA300W 1,000,000
B122699 ドライポンプ 荏原製作所(EBARA) EST500WN 1,000,000
C010485 ドライポンプ 荏原製作所(EBARA) EST500WN 1,000,000
B032403 スタッドバンブボンダー カイジョー(KAIJO) WBB-700 80A0102 2004.03 200V 8A 1,000,000
B080504 フリップチップボンダー パナソニック FB-50W-N 1,000,000
A042709 超臨界水実験装置 AKICO 容量3L/min,圧力0.19MPa サイズ:1,550×750×1,170 1,000,000
A042708 超臨界流体連続分解装置 コベルコ サイズ:3,300×950×2,400 1,000,000
8090506 エアードライヤー 白川製作所 PVC-2 45620A 1,000,000


○中古機 先行情報


NO 品名 型番 メーカー
1 マニュアルプローバ 705B-6 MJC
2 オーブン DX300 YAMATO
3 スクライバーブレーカ DX111 DYNATEX
4 両面マスクアライナ MA6/BA6 Karl Suss
5 フルオートプローバ A-PM-60B−320 東京精密
6 ウェハーテスター一式 4062UX HP
7 走査顕微鏡一式 JSM−6330F 日本電子
8 マニュアルボンダ― WEST BND
マニュアルボンダ― WEST BND
9 遠心機 H103NRF121 KOKUSAN
10 UV露光機 HB-25105AA USHIO
11 ホットプレート THI-1000 AS ON
12 UV OZON dry stripper SAMCO
13 ウエハ拡大器 自動 HS-1810 h Hugle electronics
14 ウエハ拡大器 手動 Dynatex
15 顕微鏡 ニコン
16 L-N2容器 OSK
17 L-N2容器 OSK
18 L-N2容器 OSK
19 スピナー ASS-303 潟Gイブル
20 キャリア濃度測定 DV-027-R BIORAD



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